微機械加工技術與軟件

　　智能傳感器的制造基礎是微機械加工技術，將硅進行機械、化學、焊接加工，再采用不同的封裝技術來封裝，近幾年又發展了一種LIGA工藝(深層X射線光刻電鍍成敏膜)用于制造傳感器。

　　智能傳感器一般具有實時性很強的功能，尤其動態測量時常要求在幾微秒內完成數據采集、計算、處理和輸出。智能傳感器的一系列功能都是在程序支持下進行。如功能多少、基本性能、方便使用、工作可靠，大都在一定程度上依賴于軟件設計和其質量，這些軟件主要有五大類。包括標度換算、數字調零、非線性補償、溫度補償、數字濾波技術。國內外的應用狀況

　　十幾年前，美國Honeywell公司研制第一只智能傳感器。它是將硅敏感元件技術與微處理器的計算、控制能力結合在一起，建立了新的傳感器概念。目前智能傳感器多使用于壓力、力、振動沖擊加速度、流量、溫濕度的測量。如美國Honeywell公司的ST3000系列全智能變送器，德國Strohrmann公司的二維加速度傳感器等。

　　目前智能傳感器系統本身都是數字式的，但其通信規定仍采用4～20mA的標準模擬信號。國際上有關標準化研究機構正在積極推出國際規格的數字標準(現場總線)。在現在的過渡階段采用了HART協議(HighwayAddressableRemoteTransducer，尋址遠程傳感器數據線)。這是一種智能傳感器的通信協議，與現有的4～20mA的系統兼容，模擬與數字可以同時進行通信。這樣使不同生產廠家的產品具有通用性。

　　我國智能傳感器的研究主要集中在專業研究所和大學，始于八十年代中期，八十年代末中國國防科技大學、北京航空航天大學、浙江大學等大專院校相繼報道了研究成果。

　　九十年代初，國內幾家研究機構采用混合集成技術成功的研制出實用的智能傳感器，標志著我國智能傳感器的研究進入了國際行列，但是與國外的先進技術相比，我們還有較大差距。主要在：1、先進的計算、模擬和設計方法，2、先進的微機械加工技術與設備，3、先進的封裝技術于設備，4、可靠性技術研究等方面。

　　所以加強技術的研究和引進先進設備，提高整體水平是我們今后努力的方向。

　　今后幾年中，智能傳感器將擴展到化學、電磁、光學和核物理等領域，可以預見，越來越多的智能傳感器將會在我國國民經濟的各個領域發揮作用。